绿碳化硅生产线工艺流程
碳化硅国内外主要生产工艺介绍器件工艺,主要靠离子注入和材料制备过程中的伴随掺杂来满足制造碳化硅器件的需要。我国碳化硅冶炼生产工艺技术装备和单吨能耗达到水平。黑绿碳化硅原块
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